个人简历

招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
集成电路先导工艺技术
薄膜技术与工艺，半导体材料与器件，原子层沉积
新原理准备技术
教育背景
2008-09--2012-06 中国科学院理化技术研究所 博士研究生

工作简历
2017-04~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2012-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 助理研究员
2008-09~2012-06,中国科学院理化技术研究所, 博士研究生

专利成果
（ 1 ） 一种转移金属基底上石墨烯薄膜的方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910913667.3
（ 2 ） 一种菲涅耳波带片的中心结构的制作方法及波带片, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910921077.5
（ 3 ） 一种高温原子层沉积装置和方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911136184.3

科研项目
（ 1 ） 微焦X射线菲涅耳透镜的批量化制备技术, 主持, 国家级, 2018-10--2021-10
参与会议
（1）High performance Fresnel X-ray zone plate preparation technique based on atomic layer deposition 卢维尔 2019-04-12

研究领域

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近期论文

（1） 基于耦合波理论的硬X射线菲涅尔波带片设计, Hard X-ray Fresnel Zone Plates Design Based on Coupled Wave Theory, 光学学报, 2021, 通讯作者
（2） 基于原子层沉积技术的高精度多层膜X射线 菲涅尔波带片的制备研究, 光子学报, 2021, 通讯作者
（3） 基于原子层沉积技术制备氧化钽薄膜及其特性研究, Preparation of Tantalum Oxide Thin Films by Atomic Layer Deposition Technique and Their Property Characterizatio, 材料导报, 2021, 通讯作者
（4） 原子层沉积法制备SnO2薄膜及其对钙钛矿电池的性能影响, 材料导报, 2021, 通讯作者
（5） Selective soluble polymer–assisted electrochemical delamination of chemical vapor deposition graphene, Journal of Solid State Electrochemistry, 2019, 第 1 作者
（6） PMMA/PVA 双支撑膜辅助铜刻蚀法: 一种改进的石墨烯转移技术, An Improved Copper Etching Method that Involves PMMA/PVA Dual Support Membranes and Serves to Transfer Graphene, 材料导报, 2019, 通讯作者